MEMS微振鏡/掃描模組
知微傳感提供MEMS微振鏡及集成閉環控制的MEMS單軸掃描模組產品

MEMS微振鏡
C1100/C1130/C2110/C2120

MEMS微振鏡是一款將可動結構芯片化的光學器件,可取代傳統電機,實現激光光束的高速、動態掃描。MEMS微振鏡由單晶硅加工制成,具有可靠性高、體積小、重量輕、易批量化等特點。
振鏡
模組

MEMS單軸掃描模組
P1100/P1130/P1150/P1220

基于MEMS微振鏡的單軸掃描模組,內部集成了微振鏡驅動、控制及位置檢測功能。提供多款鏡面尺寸(1.3mm、3mm、5mm等)掃描模組供客戶選擇,應用于激光雷達等領域。